Optical metrology for nanotechnology

Coelho, João M. P.; Rebordão, José Manuel

http://hdl.handle.net/10400.9/782

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Coelho, João M. P.

Rebordão, José Manuel

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http://hdl.handle.net/10400.9/782

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Coelho, J.M.P.; Rebordão, J.M. Optical metrology for nanotechnology. In: 2nd Workshop on Low-Dimensional Structures: Properties and Applications, WLDS2008, Aveiro, 31 Jan. - 1 Fev., 2008

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